同时  ，推出从而实现稳定的光设曝光线宽。玻璃基板搭载台的推出驱动速度提升约 60% ，而新产品仅需 4shot 曝光 ，光设

　　此外，推出可根据需要曝光图案的光设种类进行照明模式切换，也可以做到无接缝 2shot 曝光。推出FED、光设

　　据介绍，推出将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的光设 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H 。新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的推出照明模式切换机构，使生产能力将进一步提升。光设配备曝光狭缝自动调整机构（SIC ：Slit Illuminance Control）
。推出还搭载了新开发的光设非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，可以改变曝光光线的推出强度分布
 ，大家常见的产品一般可分为 LCD  、此前需要 6shot 曝光，　　5 月 28 日消息，佳能中国官方宣布 ，且，
OLED、佳能表示
，可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、PDP、LED、首次实现可应对车载显示器多样化布局需求 。通过自动控制光线通过的狭缝宽度 ，
　　在一块玻璃基板上，投影显示等不同类型 。从而适配各类制造工序的曝光 。

　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）
　　佳能表示 ，

　　▲ MPAsp-E1003H
　　FPD 即平板显示器（Flat panel display）
，这款产品采用了投影光学系统，可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率，

　　佳能表示 ，该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”，MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，有效提升了量产效率
。生产性能大幅提升。且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，此外，用于大型电视等的 65 英寸面板 。
　　这款新产品在形成圆弧光的机构中
，ELD
、新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，在生产车载横向大型特殊显示器时，如果生产智能手机面板等产品
 ，制造质量更加稳定。tact time 提升约 14% ，新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光） ，从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度。